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日本KOFLOC压力调节阀科赋乐精密调节器6610低压调节用
与MODEL6600相比，新开发的本仪器在低压侧精度更高，重现性更好，能够快速准确地进行压力调节。
本产品合用于高灵敏度的分析仪器、研究开发或半导体制造设备。
具有低压侧高精度控制的特性
将压力设为0.01〜0.15MPa，在此条件下对于一次侧压力变化、二次侧负荷电阻变化，具有重现性在±1％以内的高控制性能。
不使用润滑油
接触气体部分由不锈钢、氟橡胶、氟树脂制成，不使用任何润滑油，合需要保持纯净状态的半导体领域等。
防松螺母结构
通过防松螺母固定设定过一次的压力调节位置，可防止设定发生变化。
不渗液型
本产品属于不渗液型，不会发生气体外泄，请您放心使用。
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沪公网安备 31011502003262号